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多参量调剂型孔板流量计在多晶硅行业的操纵

作者: 来历: 宣布时辰:2018-12-27 14:52:32

    择要:经由进程多晶硅行业的操纵实例阐发先容了艾默生罗斯蒙特一体化多参量调剂型孔板流量计的特色及操纵结果。

    1 多晶硅行业近况
    多晶硅行业是个新兴且具有成长潜力的财产,是硅产物财产链中不可缺失的一环,其制品多晶硅更是制作硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的首要质料,这是半导体和太阳能光伏财产的物资底子,也是信息财产和新动力财产zui底子的原资料。

    跟着高科技的不时前进、信息爆炸时期的到临,环球对半导体硅的须要量剧增,并且对硅芯片存储容量呈指数级增加请求,这就象征着纯度更高的太阳能级多晶硅的须要燃眉之急、求过于供。中国也在高科技、新动力财产上加大了搀扶力度,顺势呈现出一批万吨级多晶硅企业,如宜昌南玻、江苏中能硅业、亚洲硅业、四川永祥等。大局部厂家均接纳改进西门子法手艺,即用氯和氢分解氯化氢,氯化氢和产业硅粉在必然的温度下分解三氯氢硅,而后对三氯氢硅停止分手精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢复原炉内停止CVD反映出产高纯多晶硅。其工艺出产中触及的首要装配有:三氯氢硅分解、精馏、复原、氢化、尾气收受接管、三废处置等。

    行业中触及良多物料配比的流量测点,习气上偏好操纵科式品德流量计,名目早期投资很大,加长了投资报答周期。进程丈量仪表作为工艺出产进程中的光滑剂,干系到工艺流程的不变性、物料配比的精准性,同时也与职员、装备的宁静性息息相干。挑选合适的仪表不只能够晋升全部出产进程的主动化水平,也能够赞助企业在确保宁静出产的同时削减早期名目投资。

    2 艾默生罗斯蒙特差压道理的调剂型孔板流量计在多晶硅行业的操纵
    2.1 复原装配流量丈量操纵
    (1)关头操纵测点:氢气流量精准丈量作为天然界中密度zui小的气体,在常温下,氢气的性子很不变,可是前提转变时环境就差别了。为确保氢气流量精确宁静的丈量,凡是请求在316不锈钢管道中氢气流速要节制在25m/s的宁静流速之内。作为复原剂,配比的精准性间接影响到制品的及格率和品德,是以工艺请求流量精度到达0.5%;现场配管普通为管径DN50~DN100的316不锈钢管道。

    (2)处置计划
    罗斯蒙特一体化的多参量调剂型孔板流量计3051SFCC(SMV), 操纵4个距离均等的开孔消弭旋涡和不法则活动剖面,同时具有节省和整流的才能,在前后直管段知足2D的环境下便可使得氢气流速节制在宁静流速规模内,保障了流体丈量的宁静性和精确性。同时,多参量流量变送器3051SMV根据流体的伯努利方程对影响流体的多达25个流量计较参数停止及时的温度压力全弥补,消弭流体颠末孔板截流件时这些参数发生的偏差,确保了流量计全量程偏差与设想的单点偏差坚持分歧。流量丈量精度高达0.5%,还确保了持久丈量的不变性,完整知足工艺节制的须要。相较于传统的品德流量计丈量,加倍经济。

    2.2 丈量难点:公用工程全厂蒸汽均衡
    传统丈量计划:不带弥补/局部弥补涡街流量计或不带弥补/上位机局部弥补的差压式流量计,但这些体例遍及存在计量不精确,蒸汽没法均衡的环境。究其底子缘由:蒸汽并非液体,管线传输进程中,由于温度或压力的变更使得蒸汽本身的状况发生了转变,是以,管线的高低游蒸汽流量丈量值很难对上。别的,蒸汽长管线传输进程中会发生振动,这也会影响局部涡街流量计的现实丈量精度。

    罗斯蒙特多参量调剂型孔板流量计3051SFCC(SMV)计划就有的放矢,有用地处置了这一困难。起首,多参量流量变送器3051SMV内嵌环球水蒸汽计量规范IAPWS-IF97的计较模子,此计较模子合适国度规范蒸汽热值输入规范,但计较精度远高于国际流量计蒸汽丈量遵守的IF-67公式模子;其次,3051SMV可完成对丈量蒸汽停止及时静态的温度压力全弥补,来消弭或削减由于温度或压力变更带来的蒸汽能量丧失,进步全部蒸汽动力计量的精度。zui后3051SMV可输入热值。而这在蒸汽商业结算中,热值的交代更加公允和精确,且整型孔板流量计不受蒸汽振动的影响而影响丈量精度。
 
    3 艾默生罗斯蒙特一体化多参量调剂型
    孔板流量计3051SFCC(SMV)的特色及上风
    3051SFCC(SMV)是由罗斯蒙特zui高端3051SMV多参量流量变送器和405C松散型调剂孔板和阀组一体化而成,该组合形式转变并改革了传统的差压流量丈量手艺。

    3.1 一体化成形出厂的意思
    变送器、阀组与流量丈量元件由统一个厂家出产并一体化组装。出厂前即完成了全体的压力、密封测试,能够下降现场呈现泄漏的概率,且出厂前的全体流量标定也能够确保流量计的体系精度。货到现场后,间接法兰夹持装配,无需斟酌引压管,削减了因引压管带来的泄漏危险和体系流量精度偏差。即使流量计真有毛病了,也能够间接找到厂家来处置,防止了义务摊派不清的题目。

    3.2 3051SMV多参量流量变送器的长处
    (1)一台表可同时丈量并计较六个流量相干的变量: 差压、压力、温度、品德/体积流量、热量流量,可完成累计器功效,功效高度集合。

    (2)内嵌环球水蒸汽计量规范IAPWS-IF97的数学计较模子,确保蒸汽丈量的高精度。及时静态弥补多达25个流体变量参数,进步流量丈量精度。

    (3)变送器zui高精度可到达读数的0.04%,流量量程比可达14:1。 可供给15年不变性的保障。

    3.3 调剂型孔板的长处
    调剂型孔板基于ISO5167计较规范,开等面积的四孔。该设想均衡度好,能够消弭旋涡和不法则活动剖面,同时具有节省和整流的才能。对装配,只要要知足前后2D的直管段便可确保现场流量丈量的精确性,如许的流量计几近能够装配在工场任何的处所,也使得现场新增流量测点变得简略易行。装备了3051SMV变送器的一体化调剂型孔板流量计的丈量精度更高,可达±0.5%。

    3.4 装配调试校验的便利
    艾默生罗斯蒙特一体化整型孔板流量计现场装配不须要额定斟酌引压管。到现场后只要要经由进程法兰夹持装配便可,简略轻易操纵。装配完成后告诉厂家来办事调试便可,大大削减了现场的装配调试任务量。罗斯蒙特流量计很是不变靠得住,根基不须要停止保护。每一年流量计标定的时辰,只要要送检变送器便可,很是便利。

    4 结语
    艾默生罗斯蒙特多参量调剂型孔板流量计在多晶硅行业胜利完成了复原装配氢气及公用工程蒸汽的流量丈量。不管是主要丈量仍是疑问测点,其优良的机能完整知足了工艺丈量的须要。流量计除在按期的复工检验中, 做简略的查抄外, 不呈现过任何题目。其靠得住度与免保护性也获得了现场仪表工程师的必定,在天下各多晶硅企业均有胜利操纵。

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